ГОСТ 19658-81
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ В СЛИТКАХ
Технические условия
Monocrystalline silicon in ingots. Specifications
Содержание
1. Технические требования
2. Правила приемки
3. Методы контроля
4. Упаковка, маркировка, транспортирование и хранение
5. Гарантии изготовителя
Приложение 1a (обязательное)
Приложение 1 (обязательное). Определение монокристалличности и отсутствия внешних дефектов на поверхности слитков кремния
Приложение 2 (обязательное). Определение типа электропроводности
Приложение 3 (обязательное). Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом
Приложение 4 (обязательное). Определение плотности дислокации в монокристаллических слитках кремния
Приложение 5 (обязательное). Измерение угла отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния от заданной кристаллографической плоскости и идентификация кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза слитка с заданной кристаллографической плоскостью рентгеновским дифрактометрическим методом
Приложение 6 (обязательное). Определение угла отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости слитков монокристаллического кремния оптическим методом
Приложение 7 (обязательное). Измерение концентрации атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния
Приложение 8 (обязательное). Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда (н.н.з.) в слитках монокристаллического кремния методом модуляции проводимости в точечном контакте
Приложение 8а (обязательное). Измерение концентрации атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния
Приложение 9 (обязательное). Контроль наличия свирлевых дефектов в бездислокационных слитках монокристаллического кремния
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1·101 см-2) по технологической документации.
При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.
Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.
Таблица
| | | | Удельное электрическое сопротивление (УЭС) | | |