СТ РК ГОСТ Р 8.635-2010
Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые
Методика калибровки
(ГОСТ Р 8.635:2007 Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки, IDT)
Содержание
1. Область применения
2. Нормативные ссылки
3. Термины и определения
4. Технические требования
5. Требования к квалификации калибровщиков
6. Требования по обеспечению безопасности
7. Подготовка к процедуре калибровки
8. Процедура проведения измерений
9. Обработка результатов измерений
10. Оценка неопределенности измерений параметров
11. Оформление результатов калибровки
Библиография
Приложение Д.А (информационное). Сведения о соответствии государственных стандартов ссылочным национальным стандартам Российской Федерации
1. Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее - микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
2. Нормативные ссылки
Для применения настоящего стандарта необходимы следующие ссылочные нормативные документы:
СТ РК 1.9-2007 Государственная система технического регулирования Республики Казахстан. Порядок применения международных, региональных и национальных стандартов иностранных государств, других нормативных документов по стандартизации в Республике Казахстан.
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам.
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха.
ГОСТ Р 8.628-2007* Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.
ГОСТ Р 8.629-2007* Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия.
ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация.
ПРИМЕЧАНИЕ. При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов по ежегодно издаваемому информационному указателю «Указатель нормативных документов по стандартизации» по состоянию на текущий год и соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
