МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
ГОСТ 8.605-2011
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГЛОВ
State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means of measuring of the ellipsometric angles
Введен в действие на территории Республики Казахстан с 01.07.2014 года (приложение № 1 к приказу Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 26.11.2013 г. № 542-од)
Содержание
1 Область применения
2 Государственный первичный эталон
3 Рабочие эталоны
4 Рабочие средства измерений
Приложение А (обязательное). Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов Дельта Δ и Пси ψ (Δ - разность фаз между двумя ортогональными p- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg ψ - отношение амплитуд p- и s-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) для оптического излучения в видимой области спектра (см. приложение А) и устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.
2 Государственный первичный эталон
2.1 Государственный первичный эталон применяют для воспроизведения и хранения единиц эллипсометрических углов и передачи единицы с помощью рабочих эталонов рабочим средствам измерений.
2.2 Государственный первичный эталон состоит из двух эталонных установок:
1) эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси, в состав которой входят:
- цифровой спектральный эллипсометр;
- эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
2) эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи эллипсометрического угла Дельта, в состав которой входят:
- цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
- эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четвертьволновых и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
- цифровой метеостанции для измерений параметров окружающей среды;
