ГОСТ 8.661-2018 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм»

ГОСТ 8.661-2018

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЯ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗМЕРОМ ДО 200 мм

State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for instruments measuring surface flatness parameters of optical surfaces up to 200 mm

Содержание

1 Область применения

2 Государственный первичный специальный эталон

3 Рабочие эталоны

4 Средства измерений

Приложение А (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на Государственный первичный специальный эталон (ГПСЭ) единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм и государственную поверочную схему для средств измерений параметров отклонений от плоскостности EFE (максимальное отклонение от плоскостности) оптических поверхностей размером до 200 мм и устанавливает назначение ГПСЭ, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единицы длины от ГПСЭ при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.

2 Государственный первичный специальный эталон

2.1 ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности EFE оптических поверхностей размером до 200 мм и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2 В основу измерений параметров отклонений от плоскостности EFE должна быть положена единица, воспроизводимая указанным ГПСЭ.

2.3 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

- автоматизированная фотоэлектрическая измерительная установка на базе интерферометра Физо со специализированным программным обеспечением;

- комплект эталонных мер отклонений от плоскостности диаметром 100 мм и 200 мм.

2.4 Диапазон значений параметра отклонений от плоскостности EFE, воспроизводимого ГПСЭ, составляет от 0,002 до 2,000 мкм.

2.5 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности EFE:

- для оптических поверхностей размером до 100 мм со средним квадратическим отклонением результата измерений S₀, не превышающим 0,0004 мкм при 30 независимых наблюдениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 0,0005 мкм;

- оптических поверхностей размером до 200 мм со средним квадратическим отклонением результата измерений S₀, не превышающим 0,0004 мкм при 30 независимых наблюдениях, неисключенной систематической погрешностью  не превышающей 0,0015 мкм;

При этом расширенная неопределенность (k = 2) U составляет:

- для оптических поверхностей размером до 100 мм -  мкм;