ГОСТ 26239.7-84
Кремний полупроводниковый
Метод определения кислорода, углерода и азота
Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination
Содержание
1. Общие требования
2. Аппаратура, материалы и реактивы
3. Подготовка к анализу
4. Проведение анализа
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации
ускоренными ионами 3Не и протонами в интервалах значений массовых долей примесей:
| кислород инструментальный анализ | от 5·10-7 до 1·10-3% |
| с радиохимическим выделением | от 1·10-6 до 1·10-3% |
| углерод инструментальный анализ | от 2·10-6 до 1·10-3% |
| с радиохимическим выделением | от 1·10-6 до 1·10-3% |
| азот с радиохимическим выделением | от 1·10-5 до 1·10-3%. |
Метод основан на облучении анализируемых проб и образцов сравнения ускоренными ионами 3Не (определение кислорода и углерода) или протонами (определение азота) с последующим измерением наведенной активности радиоактивных изотопов 18F и 11С на спектрометре 
-совпадений.
Содержание примесей в анализируемой пробе определяют путем сопоставления интенсивностей счета импульсов радиоактивных изотопов определяемых элементов в пробах и образцах сравнения.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
2. АППАРАТУРА, МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ
Ускоритель заряженных частиц - источников ионов 3Не с энергией 13 мэВ при токе ионов в пучке 1-5 мкА, источник протонов с энергией не менее 6,5 МэВ и током ионов в пучке 1-5 мкА.
Спектрометр -совпадений с кристаллами Nal (T1), имеющими размер не менее 100×70 мм.
Универсальный радиометр-дозиметр типа МКС-01Р.
Бюксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнительной защитой из свинцовых кирпичей и просвинцованного стекла в соответствии с требованиями НРБ-76/87/
Средства индивидуальной защиты от излучения и загрязнений радиоактивными веществами, согласно требованиям ОСП-72/87.
Секундомер по ГОСТ 5072-79.
Весы аналитические.
Центрифуга лабораторная со скоростью вращения 5000 об/мин.
Плитка электрическая.
Штангенциркуль типа В20034.
Насос водоструйный лабораторный стеклянный.
Шайбы медные диаметром 35 мм, высотой 13 мм с комплектом съемных алюминиевых диафрагм толщиной 0,4-0,5 мм. Внешний диаметр диафрагм 30 мм, диаметры отверстий 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 мм, по 5-8 шт. каждого размера.
Кассеты алюминиевые диаметром 28 мм, высотой 5 мм. Толщина дна и крышки кассеты по 1,5 мм.
Фольга алюминиевая толщиной 10, 15, 23, 34, 50, 70 мкм.
Асбест листовой.
Набор пробирок из фторопласта-4 вместимостью по 20 см3.
Щипцы тигельные.
Тигли никелевые диаметром 30 мм, высотой 50 мм.
Печь тигельная вертикальная, диаметр кварцевой вставки 60 мм, высота 200 мм, мощность 1,5 кВт или аналогичная печь.
Шланг резиновый диаметром 6 мм.
Шланг полихлорвиниловый диаметром 6 мм.
Силикагель для хроматографии марки КСК с размером зерна 100 мкм.
Бумага фильтровальная.
Бумага полулогарифмическая по ГОСТ 334-73.
Калька.
